科技日報訊(記者魏依晨)3月15日,由中國電工技術學會主持、寧夏超導泛科技有限責任公司(以下簡稱“寧夏超導泛科技”)牽頭組織的“高溫超導磁控單晶矽生長裝備、科技及應用科技成果鑒定會”在寧夏銀川市舉辦。
據悉,寧夏超導泛科技成立於2024年12月,由寧夏盈穀實業股份有限公司、江西聯創超導技術有限公司等多家企業和自然人聯合投資設立。
鑒定會上,由中國科學院院士甘子釗領銜的專家委員會對項目進行了全面評估。專家一致認為,該科技填補了我國在高端矽晶體製造領域的多項空白,綜合效能達到國際領先水準。
據介紹,高溫超導磁控單晶矽生長裝備、科技及應用的關鍵,在於引入高溫超導磁體科技。科研團隊針對高品質大尺寸單晶矽生長科技瓶頸,研製出高溫超導磁控單晶矽生長裝備,形成大尺寸單晶矽長棒快速、高穩定性、低含氧量的生長工藝,實現大尺寸(12英寸以上)高品質單晶矽的生產,經濟和社會效益顯著。
根據項目報告顯示,寧夏超導泛科技自主研發的高溫超導磁控單晶矽生長設備及科技,可將矽片含氧量穩定控制在5ppma(質量百萬分比)以下,矽棒頭尾利用率提升4%以上,生產效率提升12%,現時已拉出直徑達340毫米的高品質矽棒。
甘子釗院士在評審中表示:“這是國際上首次將高溫超導科技應用於磁控直拉單晶生長,為高溫超導科技產業化做了很多開創性的工作,開闢了超導技術產業化新賽道。”他特別提到,該技術對實現“雙碳”目標具有戰畧意義。
專家委員會認為,該項目解决了磁控條件下大尺寸單晶矽生長爐高溫度均勻性節能型熱場設計、模組化大尺寸傳導冷卻高溫超導磁體設計、電—磁—熱—流體多場耦合下單晶矽生長分析與控制等關鍵技術難題,取得多項創新性技術成果。科研團隊研製的高溫超導磁控單晶矽生長裝備,在生產實踐中得到了應用,這表明該項目總體科技水准已達國際領先。