一、鎵掃描
活動性肺泡炎區域通常有鎵-67的濃集，對判斷病變的活動性有價值，為非創傷性檢查，安全度較高，但難以鑒別間質性肺疾病的類型及與非間質性肺疾病（如肺惡性腫瘤、細菌性肺炎、肺結核等）進行鑒別。
二、臨床表現
多為隱襲性發病，漸進性加重的勞力性呼吸困難是最常見症狀，通常伴有乾咳、易疲勞感。主要體征為淺快呼吸、以雙下肺為著的爆裂音、唇指紫紺及杵狀指（趾），晚期可出現肺動脈高壓和右心室肥厚，常死於呼吸衰竭或（和）心力衰竭。
三、病史、職業史
間質性肺疾病中約1／3致病原因已明確，其中以職業環境接觸外源性抗原占相當比重，所以病史、職業史可能提供重要的診斷線索，要詳細收集職業、愛好、用藥等過去史資料。
四、胸部影像學檢查
胸片的早期异常徵象有磨玻璃樣陰影、肺紋理增多，常易被忽視。病變進一步發展，可出現廣泛網格影、網狀結節影、結節狀影等，晚期呈蜂窩肺樣改變，病變常累及兩側肺野。
電腦體層掃描（CT），尤其是高解析度薄層CT（HRCT）有
助於分析肺部病變的性質、分佈及嚴重程度，還可顯示肺內血管、支氣管、胸膜-肺介面的异常徵象，主要徵象分為四種類型：1、不規則線狀陰影，呈網狀、放射狀；2、囊狀型，呈多個大小不一的薄壁囊腔，直徑範圍為2~50mm；3、結節型，結節直徑為1~10mm；4、磨玻璃樣改變。
五、肺功能檢查
特徵性改變為限制性通氣功能障礙和彌散功能障礙。如肺總量、肺活量和功能殘氣量减少，不伴有氣道阻力的新增，CO彌散量下降，輕症患者於休息時可無低氧血症，但運動負荷時或重症患者通常存在低氧血症，PCO2可正常或降低，終未期可出現II型呼吸衰竭。
六、支氣管肺泡灌洗（BAL）
對BAL收集的肺泡灌洗液進行細胞分類及上清液中纖維連結蛋白、白介素及其受體等的生化、免疫測定，對間質性肺疾病的診斷、活動性判斷及療效評估有一定價值。如活動期結節病的BAL液中，淋巴細胞所占百分率高，多超過24%，以輔助T淋巴細胞（CD4）為主，CD4／CD8＞1.5。IPF的BAL液中以中性粒細胞比值升高為主。
七、肺組織活檢
經支氣管肺活檢（TBLB）創傷性小、對肉芽腫性病變尤其是結節病的陽性率可達60~70%，如結合應用特殊組織病理科技或染色，對鑒別惡性疾病、感染、過敏性肺泡炎、肺組織細胞增多症-X等有一定價值。但因取材標本小（2~5mm），尚不足以評估肺組織纖維化和炎症的程度，其總體診斷率約為25%。
開胸肺活檢（OLB）的取材理想，可進行光鏡、免疫螢光，免疫組化等組織學檢查，對明確間質性肺疾病類型、致病因數及研究發病機制均有重要價值。但創傷大，醫療費用高，重症間質性肺疾病患者難以承受。
電視輔助胸腔鏡手術（VATS）具有創傷小、合併症輕的優點，與OLB有相似的診斷價值，應成為今後間質性肺疾病診斷的重要手段。
鑒於現時肺組織活檢的開展極為有限，面對龐大的間質性肺疾病病譜，尚無統一的診斷標準，應結合上述各項進行程式性逐步評估，最近ATS和ERS的聯合專家委員會達成共識，提出了IPF診斷依據，可供參考。
在尚未作外科肺活檢且診斷不能確定的免疫功能健全成人，如符合下列全部主要診斷標準及4項次要標準中的3項，其IPF的臨床診斷正確率明顯增加。主要診斷標準：1、除外已知原因的間質性肺疾病；2、肺功能异常呈限制性通氣功能障礙和（或）氣體交換障礙；3、HRCT見雙肺基底部網狀陰影，伴輕微磨玻璃樣改變；4、TBLB和BAL無支持其它疾病的證據。次要診斷標準：1、年齡大於50歲；2、隱匿起病、不能解釋的運動後呼吸困難；3、病程在3個月以上；4、雙側肺底部可聞及吸氣性爆裂音（velcro音）。
在外科手術肺活檢呈現有UIP組織學改變且病因不明病例，如符合下列三方面條件，可明確診斷IPF。1、除外其他已知病因的間質性肺疾病；2、肺功能异常包括：限制性通氣功能障礙（VC↓伴FEV1／FVC↑）和（或）氣體交換障礙（PA-aO2↑或DLCO↓）；3、胸片及HRCT异常：胸片示肺周圍區域的網狀陰影，主要是雙肺基底部及不對稱分佈並伴有肺容積降低。HRCT主要表現為斑片狀陰影，伴較為局限的不同程度磨玻璃樣陰影，嚴重病變區常可見牽拉性支氣管擴張和（或）胸膜下蜂窩肺形成。